کلمه "اگزايمر" از عبارت "ديمر تحريک شده" بدست آمده است که بدين معني است که يک مولکول دو اتمي وقتي در حالت تحريکي واقع است پايدار است و در حالت پايه ناپايدار است. چنين مواردي مشخصا عباتند از هالوژنهاي گاز نادر مانند ArF ، KrF و XeCl. اگر نمودار انرژي بر حسب فاصله بين مولکلي را براي حالت پايه يک مولکول معمولي رسم کنيم منحني با يک انرژي مينيمم در حالت جدايي در حالت پايه مولکول بدست مي‌آوريم. چنين منحني‌هايي را مي‌توان براي حالتهاي تحريکي بدست آورد. ولي براي ديمرها گر چه حالتهاي تحريکي داراي مينيمم است ولي حالت پايه داراي مينيمم نيست.

 

 

◄   ايجاد جمعيت معکوس
بطور وضوح در حالت تعادل مولکولهاي کمي در حالت پايه وجود دارند و مولکولها ناپايدارند. از اينرو نمي‌توان تحريک را مستقيم از حالت پايه بدست آورد. چندين امکان براي تحريک غير مستقيم در تخليه وجود دارد. براي مثال در ArF مراحل زير اتفاق مي‌افتد. ابتدا برخورد الکتروني داريم:  e + F2 ? F- + F
يونهاي منفي با يونهاي مثبت موجود مولکول تحريک شده را توليد مي‌کنند:  *(Ar+ + F- ? (ArF

با وجود اين راه غير مستقيم ، چنين واکنشهايي مي‌تواند در تحريک کردن مولکولهاي ديمر بسيار مؤثر باشد. به دليل جمعيت کم در حالت پايه ، جمعيت معکوس به راحتي حاصل مي‌شود. حتي وقتي که ليزر در حال کار است جمعيت حالت پايه خالي باقي مي‌ماند، به دليل آنکه حالت پايه ناپايدار است. به محض آنکه مولکول در حالت پايه قرار مي‌گيرد اتمها به سرعت از يکديگر جدا مي‌شوند و مولکول تجزيه مي‌شود.

◄   فرايند دمش
براي دمش اين ليزرها تخليه الکتريکي ، پرتوهاي الکتروني و حتي پرتوهاي فوتوني بکار مي‌روند، گر چه در ليزرهاي تجارتي معمولا از روش تخليه الکتريکي استفاده مي‌شود. دمش بسيار قوي به منظور ايجاد واکنشهاي فوق مورد نياز است که منجر به عمل ليزر به صورت ضرباني مي‌شود. تجهيزاتي مانند آنچه در ليزر ازت به منظور دمش ليزر مورد نياز است. بعضي از مواقع با استفاده از پرتوهاي ماوراء بنفش و يا پرتوهاي ايکس گازي محفظه تخليه ابتدا کمي يونيزه مي شود که تخليه الکتريکي را بعدا سرعت مي بخشد. غالبا تجهيزاتي نيز به منظور تعويض نوع گاز و تغيير طول موج ليزر نيز ساخته مي‌شود. در هر صورت ضروري است بطور منظم گاز داخل محفظه ليزر تعويض شود تا از کاهش و تغيير خروجي ليزر ممانعت شود. لازم به توضيح است که بعضي از اين مواد بخصوص گاز فلوئور سمي است.

◄   توان و بازه فرکانسي
تعداد نسبتا زيادي ليزرهاي اگزايمر ساخته شده‌اند که ناحيه طول موجهاي 120 تا 500 نانومتر را در بر مي‌گيرند. بعضي از آنها به خصوص XeF و KrF داراي کارايي مؤثر 15-10% مي‌باشند. توان ماکزيمم تا 1 ژول با توان متوسط حدود 200 وات قابل حصول است. چنين ضربانهاي با توان بالا به خصوص جهت دمش ليزرهاي رنگي مورد نياز است.